本量子生產(chǎn)車(chē)間聚焦量子芯片、量子傳感器等精密產(chǎn)品制造需求,以“超潔凈、低干擾、高靈活”為核心設(shè)計(jì)原則,整體風(fēng)格簡(jiǎn)潔嚴(yán)謹(jǐn),適配量子產(chǎn)業(yè)嚴(yán)苛生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)。?
車(chē)間環(huán)境控制優(yōu)勢(shì)顯著:地面采用淺藍(lán)色防靜電環(huán)氧材質(zhì),有效規(guī)避靜電對(duì)量子元件的干擾;四周白色抗菌墻面經(jīng)特殊涂層處理,粉塵附著率低于0.1%,配合全密封吊頂設(shè)計(jì),可維持千級(jí)潔凈度,滿(mǎn)足量子器件對(duì)微環(huán)境的極高要求。?
功能分區(qū)通過(guò)多視角布局實(shí)現(xiàn)科學(xué)規(guī)劃:正面視角為核心制程區(qū),預(yù)留10米柱距與8米凈高,適配量子鍍膜機(jī)、精密光刻設(shè)備等大型裝置;側(cè)/背面視角為輔助工藝區(qū),規(guī)劃真空系統(tǒng)接口與恒溫控制模塊安裝位,保障生產(chǎn)穩(wěn)定性;45度角視角展現(xiàn)人員/物料雙潔凈通道,設(shè)風(fēng)淋室與惰性氣體保護(hù)傳遞窗,避免外部干擾。整體空曠布局既預(yù)留設(shè)備升級(jí)空間,又通過(guò)結(jié)構(gòu)化設(shè)計(jì)降低振動(dòng)、電磁等干擾因素,為量子產(chǎn)品研發(fā)與量產(chǎn)提供專(zhuān)業(yè)化生產(chǎn)載體。